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首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-ME-Mapping光譜橢偏儀

ME-Mapping光譜橢偏儀

簡要描述:教學(xué)橢偏儀,Mapping系列光譜橢偏儀是全自動(dòng)高精度Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,配置全自動(dòng)Mapping運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實(shí)現(xiàn)薄膜全基片的膜厚及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征。

產(chǎn)品型號:  更新時(shí)間:2024-07-04  瀏覽次數(shù):1949

  • 廠家實(shí)力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

 

一、概述

     ME-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,配置全自動(dòng)Mapping測量模塊,通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實(shí)現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征和分析。

 

■ 全基片橢偏繪制化測量解決方案;

■ 支持產(chǎn)品設(shè)計(jì)以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量;

■ 配置Mapping模塊,全基片自定義多點(diǎn)定位測量能力;

■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

 

■ 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);

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■ 高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集;

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■ 具備全基片自定義多點(diǎn)自動(dòng)定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報(bào)告;

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■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料。

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三、產(chǎn)品應(yīng)用

 

      ME-Mapping廣泛應(yīng)用OLED,LED,光伏,集成電路等工業(yè)應(yīng)用中,實(shí)現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學(xué)常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。

111.png

 

 

 

可選配件

ME-L0.png

ME-L.png

真空泵 透射吸附組件

 

 

技術(shù)參數(shù)
ME-Maapping.png
 

 

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