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首頁(yè)-產(chǎn)品系統(tǒng)-FTIR系列-IRE200-IRE-200 膜厚測(cè)試儀

IRE-200 膜厚測(cè)試儀

簡(jiǎn)要描述:光學(xué)薄膜測(cè)厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào):  更新時(shí)間:2024-07-04  瀏覽次數(shù):1852

  • 廠家實(shí)力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

 

一、概述

IRE-200光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備,利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析,主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。

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■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

■ 自定義mapping功能;

■ 高檢測(cè)速率:Si標(biāo)準(zhǔn)外延片測(cè)量25點(diǎn)≤3min;

■ 高檢測(cè)精度:≤0.01um 。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1)設(shè)備采用高性能光源模塊,光源穩(wěn)定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1。

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2)搭配自主研發(fā)算法軟件,可精準(zhǔn)快速地獲取測(cè)量結(jié)果。

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3) 搭配自主研發(fā)的mapping運(yùn)動(dòng)臺(tái),定位精準(zhǔn)、測(cè)量速度快。

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三、產(chǎn)品應(yīng)用

 IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測(cè)。

SiC EPI量測(cè)案例

      

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技術(shù)參數(shù)

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