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在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽(yù)和科學(xué)的管理促進(jìn)企業(yè)迅速發(fā)展首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀
簡要描述:針對微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量定制的專用型光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號: 更新時間:2024-04-03 瀏覽次數(shù):2237
廠家實力
Manufacturer Strength有效保修
Valid Warranty質(zhì)量保障
Quality Assurance產(chǎn)品中心
PRODUCT CATEGORY詳細(xì)介紹
一、概述
SE-m 是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用 1 超小微光斑探測測量技術(shù), 2 定制超快測量速度等技術(shù)??蓱?yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。
二、特色功能
■ 可定制光斑尺寸,最小可達(dá)30um;
■ 超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;
■ 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計;
■ 結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測量。
三、測量實例
微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量
四、應(yīng)用場景
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。
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