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首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀

SE-VF 光譜橢偏儀

簡要描述:針對微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量定制的專用型光譜橢偏儀

產(chǎn)品型號:  更新時間:2024-04-03  瀏覽次數(shù):2237

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

一、概述

SE-m 是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀,其采用  超小微光斑探測測量技術(shù) 定制超快測量速度等技術(shù)??蓱?yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。


二、特色功能

■ 可定制光斑尺寸,最小可達(dá)30um;

■ 超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;

■ 系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計;

■ 結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測量。

三、測量實例

捕獲.JPG微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量

捕獲.JPG

四、應(yīng)用場景 

應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。

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