薄膜厚度測(cè)試儀由光源、分束器、樣品臺(tái)、檢測(cè)器、計(jì)算機(jī)等組成。光源發(fā)出一束光經(jīng)過分束器分成兩束,一束照射在樣品表面并反射回來,另一束則不經(jīng)過樣品直接到達(dá)檢測(cè)器。檢測(cè)器會(huì)收集這兩束光的信號(hào),并計(jì)算它們之間的相位差,從而得出薄膜厚度。
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,各種材料和產(chǎn)品都需要涂覆一層薄膜來保護(hù)、改善或增強(qiáng)其性能。而薄膜的厚度是影響其功能和質(zhì)量的重要因素之一,因此準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量控制和研發(fā)過程至關(guān)重要。而薄膜厚度測(cè)試儀就是用于測(cè)量薄膜厚度的專業(yè)工具。
它可以測(cè)量各種薄膜(如金屬、非金屬、透明、不透明等)的厚度,并且能夠在微米級(jí)別準(zhǔn)確測(cè)量。它的原理基于光學(xué)干涉法,即通過測(cè)量反射和透射光的相位差來計(jì)算出薄膜厚度。這種方法不需要觸碰樣品表面,不會(huì)對(duì)樣品造成破壞,同時(shí)具有高精度和高速度的優(yōu)點(diǎn)。
有很多應(yīng)用,例如在電子、光學(xué)、航空航天、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中,都需要準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度。在半導(dǎo)體制造中,可以幫助工程師監(jiān)控晶圓涂覆過程中的穩(wěn)定性和均勻性,保證芯片質(zhì)量。在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中,可以用于檢測(cè)眼鏡、隱形眼鏡等視力輔助產(chǎn)品的膜層厚度,確保其符合標(biāo)準(zhǔn)。
總之,薄膜厚度測(cè)試儀是測(cè)量微米級(jí)薄膜厚度的儀器,在工業(yè)生產(chǎn)和科研領(lǐng)域中扮演著重要角色。它具有高精度、高速度、不損傷樣品等優(yōu)點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,幫助人們更好地掌握薄膜涂覆過程并提高產(chǎn)品質(zhì)量。